這是一個非常重要的問題，因為客戶通常希望將使用ICP分析的實驗室結果與他們的XRF進行比較，以驗證性能。這通常是有效的，但在許多情況下，直接比較XRF和ICP是不公平的。

電感耦合等離子體（ICP）光譜法是一種濕化學技術，許多實驗室用于元素分析。它包括將樣品溶解在酸中（消化），進行多次稀釋，并使用高靈敏度光譜法檢測存在的元素。這些儀器通常在每次使用時都經過校準，運行時需要實驗室設備和訓練有素的化學家。

ICP和XRF結果差異的主要原因是樣品的不均勻性。通常情況下，樣品看起來是均勻的，但有很薄的涂層或微觀變化使其不均勻。XRF是一種表面技術，因此x射線只能穿透樣品幾微米到幾毫米，并且只能分析窗口前面的東西。由于ICP消化整個樣品，當樣品不均勻時，對結果進行平均。

對于同一樣品，比較ICP和XRF的結果是非常重要的。由于ICP是一種破壞性技術，樣品在ICP分析后不能用于XRF測試。當比較兩個（表面上）相同樣品的結果時，應注意確保樣品實際上是相同的。通常，產品批次之間的差異，甚至批次內的差異，都意味著結果無法直接比較。

在某些情況下，消解誤差會導致ICP結果的偏差。ICP測試的所有元素都必須進入溶液中，因此如果某些元素或組分沒有完全溶解，這可能會導致XRF和ICP結果發生變化。大多數實驗室都意識到這一點，并試圖確保完全消化，但這仍然是一個可能的錯誤來源。

技術上的變化有時會導致ICP結果的變化，特別是當被測樣品不均勻時。例如，提供給3個不同測試實驗室的3個相同樣品可能會產生3個不同的結果。

此外，確保使用正確的XRF校準也很重要。例如，土壤模式用鐵含量為2-4%的Nist土壤校準。土壤模式是采礦勘探中經常使用的模式，其中一些樣品的鐵含量可能明顯較高。鐵含量的差異可能導致某些元素的結果與分析結果不同。