作為精密元素分析儀器之一，在分析元素時，經常會出現同一個樣品檢測的精度不一樣的現象，多數操作者多一位是儀器出現故障。其實不然，那么XRF這款精度儀器在使用過程中，會受到那些因素的影響而導致結果出現偏差。

時間

一般來說，檢測的時間越長，精度就越精確，ROHS30~600秒；合金分析儀10~60秒；礦石分析儀：30~90秒，
均質

樣品一定要均勻，盡量不要出現凹凸不平，凹凸的樣品很容易出現偏差。樣品最好額平面放在某處，

材質

不同的物質結果不一致，那是肯定的就算同是合金材料也分鐵、鋁、鎂等不同元素組成。
粒度

被檢測的樣品越小越好，樣品大小和儀器的顯示屏差距不大是最好，如果檢測樣品過于龐大，比較容易出現樣品元素組成不一樣，導致元素的含量與成分結果就不一樣。
厚度

XRF分析儀，有個很明顯的特點，就是對樣品的厚度有一定限制，特別是很多合金樣品可能會在材料商涂層銅、金屬、塑膠，這個時候檢測材質需要對樣品的表層進行處理，才能保證檢測結果的精確。

合金材料的最佳檢測厚度：

聚合物與輕合金固體5MM

其他合金1MM;

液體15MM，

濕度:干燥

元素干擾

樣品中測試元素的特征譜線的強度會受到其它元素的干擾

典型的干擾如下：
 鎘：可能的干擾來自溴，鉛，錫，銻
 鉛：可能的干擾來自溴
 汞：可能的干擾來自溴，鉛，以及樣品中高濃度的鈣和鐵
 鉻：可能的干擾來自氯
 溴：可能的干擾來自鐵及鉛